史上最先进！ASML研发新一代Hyper NA EUV光刻机：5nm单次曝光
快科技6月29日消息，印刷分辨率就越高。 Jos Benschop表示， 【本文结束】如需转载请务必注明出处：快科技 责任编辑：朝晖
目前标准EUV光刻机的NA为0.33，
据悉，ASML正朝向NA 0.7或超高NA（Hyper NA）迈进。
数值孔径（NA）是衡量光学系统收集与聚焦光线能力的关键指标，全球最大半导体设备龙头ASML已着手研发下一代Hyper NA EUV先进光刻机， 当NA越大、也是决定电路图样能否精细投影到晶圆上的关键因素。ASML正与蔡司进行设计研究，目标是实现数值孔径（NA）0.7 或以上，目前尚未设定具体上市时间表。
Benschop指出，为未来十年的芯片产业做准备。
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